계면에서 제작하는 규칙구조성 고분자 초분자로부터 나노디바이스를 목표로

전문가 제언

○ 나노기술 연구 분야는 크게 나노재료의 합성, 나노크기의 모델링 및 시뮬레이션, 나노디바이스의 개발, 나노약물 및 나노바이오 등이다. 나노디바이스는 보다 빠르고 저렴하며, 효율적인 나노크기의 광전자 소자, 나노센서, 평판디스플레이 부품 나노로봇 등 여러 방면의 디바이스가 연구되고 있다.

 

○ 반도체디바이스 제조에 있어서는 미세가공, 표면개질, 박막퇴적 등의 중요한 프로세스로서 반응성 플라즈마가 많이 사용되고 있으며, 원자층레벨의 가공정밀도나 퇴적정밀도가 요구되고 있다. 그러나 앞으로 주류가 되는 나노단위 초미세 디바이스에 있어서는, 플라즈마로부터 방사되는 전자나 이온에 의한 전자축적이나 진공자외선 등의 방사광에 의한 결함생성 등, 디바이스특성을 열화시키는 손상이 심각하다고 생각된다.

 

○ 이들의 문제점을 해결할 수 있는 방법으로 플라즈마로부터 전하와 자외선을 제외한 중성입자 빔의 기술이 주목받고 있다. 중성입자 빔은 플라즈마로부터 하전입자나 방사선의 기판에의 입사를 억제하고, 운동에너지를 가지는 중성자만을 조사할 수 있기 때문에 손상이 없는 고정밀도 프로세스가 가능하다. 한편, 새로운 중성입자 빔원(Beam source)이 개발되어 현실화 되었다. 현재, 이미 디바이스 제조에 원자층 레벨의 표면반응, 결함생성 등 제어가 필요하고, 실용적 중성자 빔이 출현했다.

 

○ 현재, 연세대학교 NEMD연구실에서는 나노디바이스의 바이오센서 적용연구에 심혈을 기울이고 있다. 특히 연구실에서 진행해온 그래핀 소재를 통한 고효율 에너지 전송선 개발에 진전이 있다고 보고했다. 그래핀의 상용화를 좀 더 앞당길 수 있는 방안으로 제시되고 있는 산화그래핀이라는 그래핀 관련 물질로 전송선 적용에 대한 연구를 진행하고, 산화그래핀이 금보다도 고주파 전송 특성에 우수하다는 결과를 얻었다. 이 연구결과는 그래핀 소재를 통한 고효율 에너지 전송선의 개발 및 상용화 가능성을 높여, 그 우수성을 인정받아, Nature Publishing grup-Asia Material에 research highlight로 선정되어 소개되기도 했다.

 

 

저자

Masashi Kunitake

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

화학·화공

연도

2013

권(호)

62(9)

잡지명

高分子

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

519~523

분석자

정*진

분석물

• 계면에서 제작하는 규칙구조성 고분자 초분자로부터 나노디바이스를 목표로.pdf [395,428 byte]

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