마그네트론 스퍼터로 제작한 ZnO:Al박막의 전기적,구조적 특성에 대한 음이온충격 효과

전문가 제언

ZnO의　투명전도　산화물（TCOs: transparen conductive oxides)은　평판　디스플레이， 건축유리코팅　혹은　박막태양전지에　넓게　사용된다．　박막태양전지에서　ZnO는　ITO（tin-doped indium oxide)를　대체할　수　있는　값싼　산화물이다． 비저항　ρ＝（enμ)-1 에서　e,n,μ는　각각　캐리어　전하， 농도， 이동도를　표시한다．ZnO의 캐리어농도의 상한치의　제한이　있어　ITO만큼　비저항을　갖기　위해　이동도를 높여야　한다．　재료의　전자구조특성에　대한　코팅인자와의 관계를　잘　이해한다면　효과적인　방법을 얻을 수 있을 것이다. 

가장　낮은　저항을　얻기　위한　최적코팅온도의　변화는　결함이 없는　충돌과　어닐링에　기인한　손상의　생성　밸런스에　영향을　미친다．　플라즈마　여기주파수가　증가하면　산소　음이온에너지는　감소하며　작은　손상으로 낮은　온도에서　쉽게　어닐링이　된다

 

저자

Andre Bikowski et al.

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2013

권(호)

102()

잡지명

Applied Physics Letters

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

2421061~2421064

분석자

박*식

분석물

• 마그네트론 스퍼터로 제작한 ZnO-Al박막의 전기적,구조적 특성에 대한 음이온충격 효과.pdf [117,037 byte]

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