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태양전지 코팅층의 선택적 급속 제거법

전문가 제언

본 발명에서는 전지효율을 향상시키기 위하여 태양전지의 구조를 개선하여 제조방법을 확립하고자 하였다. 특히 자기정열된 선택적인 레이저 어블레이션(ablation) 패터닝기술은 간단하고, 수율이 높으며 값싸게 효과적으로 제조할 수 있는 공정이므로 향후 효율성이 뛰어난 태양전지의 개발에 대한 발전가능성이 매우 높을 것으로 사료된다.

 

본 발명에 의하면 태양전지를 제조하기 위한 금속접촉 구조체의 형성의 공정은 구체적으로 ① 기판 위에 금속박막의 증착, ② 레지스트를 분사(dispense), ③ 금속의 에칭 ④ 레지스트의 제거, ⑤ 유전체 박막(예, 질화물)의 증착, ⑥ 레이저 어블레이션의 사용, ⑦ 식각액 내에 기판을 완전하게 침지함으로써 금속을 에칭하고 초음파/세정에 의해 유전체 코팅물을 제거, ⑧ 도금하는 단계로 분류할 수 있다. 국내관련 산업체에서 이러한 제조기술을 국내 자체기술로 소화흡수하여 국제적인 경쟁력을 갖추어 나가야 할 것이다.

 

유전체 코팅의 선택적인 레이저 어블레이션 패터닝 기술은 유전체 코팅 기판과 도금된 금속과 주위의 환경 사이에 장벽으로 작용하기 때문에 금속과 유전체 무반사코팅 사이의 어떠한 틈(gap)도 방지할 수 있으므로, 현재 태양전지의 제조에 매우 효율적인 기술로 판단되 이에 대한 적극적인 관심이 필요하다.

 

태양전지 제조를 위한 금속박막은 ① 복합 박막 금속의 적층에 있는 상부(top)의 금속박막과, ② 직접 전기도금할 수 있는 상부 금속 박막으로 구성된다. 특히 상부 금속박막은 Ag, Cu, Ni, Cr, Ni-Nb, Ni-V, Ni-Ti, Ni-Zr, Ni-Cr, Ni-Pt, Ni-Al, Ni-W, Cr-Co-Ni, Cr-Co, Cr-Ni, Cr-Si Cr-Cu, Cr-Al 중에서 선택되는데, 국내 기술진으로 태양전지를 가장 효율적이고 값싸게 생산하기 위해서는 이러한 금속의 선택에 대한 제조기술의 확립이 시급히 요구되고 있다.

 

현재 국내외 기술진에 의해 박막 태양전지에 대한 기술개발이 매우 활발하게 전개되고 있는 시점에 레이저 어블레이션 패터닝 기술과 금속박막에 대한 정보수집에 본 자료는 큰 도움이 될 수 있을 것이다.

저자
TETRASUN, INC.
자료유형
특허정보
원문언어
영어
기업산업분류
재료
연도
2013
권(호)
WO20130185054
잡지명
PCT
과학기술
표준분류
재료
페이지
~47
분석자
유*천
분석물
담당부서 담당자 연락처
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