단결정 탄화규소의 손상없는 기계가공

전문가 제언

이온 주입으로 수행된 비정질 층 표면 단결정 탄화규소의 손상 없는 절삭시험 기계가공이 수행되었다. 연성방식 기계가공이 60nm보다 작은 절삭 깊이에서 관측되었다. 60 nm보다 큰 절삭 깊이에서 가공물 표면에 크랙이 관측되었다. 그러나 투과 전자현미경 사진은 크랙전파가 비정질과 결정 층 사이의 인터페이스에서 차단되었고, 취성방식의 기계가공에서도 표면 밑 손상이 결정 층까지 이어지지 않았다. 이 결과는 단결정 탄화규소의 손상 없는 기계 가공이 비정질 구조로 표면개질에 의해 가능한 것을 보여 준다.

저자

Hiroaki Tanaka et sl,

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

일반기계

연도

2013

권(호)

62()

잡지명

CIRP Annals - Manufacturing Technology

과학기술
표준분류

일반기계

페이지

55~58

분석자

신*순

분석물

• 단결정 탄화규소의 손상 없는 기계가공.pdf [222,002 byte]

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