초경질 막의 나노 트라이볼러지 특성평가

전문가 제언

최근 첨단산업 분야의 기계장치 등의 고성능화, 소형화에 따라서 마모와 미소한 마찰력 변동이 문제가 되어 트라이볼러지 특성에서 표면층의 중요성이 증대하고 있다. 따라서 마이크로·나노테크놀로지 분야에서 마이크로·나노 시스템이 개발되고 있지만, 그 표면 형성기술 및 평가기술이 중요하다. 나노 트라이볼러지의 요구에 적용하는 박막 재료로서 다이아몬드, c-BN(입방정질화 붕소)등의 초경질 막이 주목받고 있다. 마찰·마모·윤활에 관한 표면의 현상을 미시적으로 취급하는 과학기술 분야가 나노 트라이볼러지라고 한다. 나노 트라이볼러지 특성을 평가하기 위해서 표면을 원자 크기로 관찰할 수 있는 주사형 탐침 현미경(SPM) 기술이 활용되고 있다

저자

Shojiro MIYAKE

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2013

권(호)

48(9)

잡지명

セラミックス

과학기술
표준분류

재료

페이지

732~735

분석자

김*환

분석물

• 초경질 막의 나노 트라이볼러지 특성평가.pdf [268,650 byte]

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