고전력 펄스마그네트론 스퍼터링 플라스마로 형성된 분광영상

전문가 제언

고 전력 펄스마그네트론 스퍼터링 플라즈마의 변화하는 이온화영역에서 여기와 이온화상태는 간섭필터를 통해 순간적 분해능으로 사진기 영상(image)을 측정하였다. 가스, 타깃 원자와 이온 분광을 사용해서 타깃의 정면과 옆면에서 촬영한 영상은 전자, 여기 된 원자와 이온의 높은 밀도의 영역이다. 타깃 재료(Al)의 여기원자와 이온은 강하게 타깃 표면가까이 집중되어 있다. 가장 높은 여기에너지로부터 영상은 가장 국부적 영역을 나타내며 이중층 형성과 일치하는 국부적인 옴 가열(ohmic heating)을 나타낸다.

저자

Joakim Andersson et al.

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2013

권(호)

103

잡지명

Applied Physics Letters

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

0541041~0541044

분석자

박*식

분석물

• 고전력 펄스마그네트론 스퍼터링 플라스마로 형성된 분광영상.pdf [253,817 byte]

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