산소 운동에 의한 고전력 펄스 마그네트론 스퍼터링의 플라스마 반응성

전문가 제언

반응성 고 전력 펄스마그네트론 스퍼터링(R-HiPIMS: Reactive High-Power Impulse Magnetron Sputtering)방전에서 산소원자의 준안정(metastable)운동학은 Ti타깃과 혼합가스(아르곤과 산소)에서 시간분해 다이오드 레이저 흡수를 사용해서 특성화되어 왔다. 타깃근접 이온화영역(IR :ionization region)과 확산영역(DR :diffusion region)의 플라즈마영역은 천이 영역(transition region)으로 구별된다. 순간적 분해능(μs)으로 대부분 산소원자생성과 소멸통로가 식별되며 이것은 발생되는 잔광(afterglow)과는 다르다.

저자

Catalin Vitelaru et al.

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2013

권(호)

103

잡지명

Applied Physics Letters

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

1041051~1041054

분석자

박*식

분석물

• 산소 운동에 의한 고전력 펄스 마그네트론 스퍼터링의 플라스마 반응성.pdf [259,628 byte]

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