저온 마이크로웨이브 플라즈마 CVD로 제작한 그래핀 박막의 전기적 특성

전문가 제언

본 논문은 저온 마이크로웨이브 CVD에 의한 홀 효과(Hall effect)의 결과를 기술한다. 50-100 μm크기의 Van der Pauw 디바이스를 제작해서 p형 전도성과 10~100 cm2/V s 이동도를 측정했다. 이동도의 확산을 조사하기 위해 그라핀 박막의 결함과 무질서의 수를 평가하는 라만함수(Raman mapping)를 측정하였다. 이 결과 D-밴드/G-밴드 강도 비는 이동도와 관련이 있음을 보여 주며 이동도의 조정 인자와 결함 수를 줄임에 의해 그라핀 박막의 특성을 향상하는 법을 기술한다.

저자

Yuki Okigawa et al.

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2013

권(호)

103

잡지명

Applied Physics Letters

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

1531061~1531064

분석자

박*식

분석물

• 저온 마이크로웨이브 플라즈마 CVD로 제작한 그래핀 박막의 전기적 특성.pdf [248,995 byte]

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