불균일 실리콘표면 기계가공 손상의 레이저개선

전문가 제언

나노 초(nano-second)펄스 레이저 조사(irradiation)이 단결정 실리콘의 불균일 표면에 대해 기계가공으로 유발된 손상을 개선하기 위해 사용되고 있다. 레이저 조사로 인한 실리콘의 미세구조 변화는 단면투과 전자현미경 검사와 레이저 미세 라만 분광학으로 추정되었다.

저자

Jiwang Yan et al.

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

일반기계

연도

2013

권(호)

62

잡지명

CIRP Annals - Manufacturing Technology

과학기술
표준분류

일반기계

페이지

199~202

분석자

송*국

분석물

• 불균일 실리콘표면 기계가공 손상의 레이저개선.pdf [127,118 byte]

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