미세각도 검출기용 MEMS 기반 압전기 체적탄성파(BAW)공진기

전문가 제언

자이로스콥 및 가속도계를 포함한 MEMS(Microelectromechanical System)관성소자는 소형, 저가 및 고 감도 때문에 과거 수십 년 동안 많은 관심을 끌었다. 포크 튜닝(folk-tuning) 자이로스콥, 링 공진기 자이로스콥 및 체적탄성파(BAW) 자이로스콥 등을 포함하는 대부분의 진동자이로스콥은 구동과 센싱에 정전기, 전자기 또는 압전기 메커니즘이 요구된다. 대부분의 보고에서 압전기 자이로스콥은 캔틸레버 구조 기반 PZT 박막, 실리콘 및 금속전극의 복합 층을 사용한다. 그러나 PNZT(Lead Zirconium-Titanate Film doped with Niobium) 압전기 소재가 공진기보다 전력트랜스듀서로서 사용되는데, 이는 에너지변환효율을 감소하고 에너지 손실을 증가한다.

저자

Y.X. Cheng,et al.

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2013

권(호)

49(6)

잡지명

Electronics Letters

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

406~407

분석자

박*준

분석물

• 미세각도 검출기용 MEMS 기반 압전기 체적탄성파(BAW)공진기.pdf [239,233 byte]

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