금 전극을 이용한 고 초전계수 티탄산납 박막증착

전문가 제언

수정된 티탄산 납(lead titanate)이 강유전박막소재로서 중요하게 고려되고, 고 유전율, 큰 자발분극과 초전전류, 전기광학 및 강유전 효과를 나타낸다. 이런 특성은 FDRAM(Ferroelectric Dynamic Random Access Memory), 센서와 액추에이터, 가속도계 및 광 스위치와 같은 넓고 다양한 응용을 가능하게 한다. 초전 비냉각 적외선 검출기는 복사입력으로 가열하여 검출재료의 자발분극의 변동에 의한다. PZT(Lead Zirconium Titanate)는 비냉각 적외선 검출에 사용되고 있다. PZT 박막증착은 두 단계 공정이 있는데, 첫째는 파이로클로어(pyrochlore) 박막과 그리고 어닐링에 의해 증착박막을 파이로클로어 상에서 강유전 페로브스카이트(perovskite) 상으로 변환하는 것이다

저자

M. Ahmed, et al.

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2013

권(호)

49(15)

잡지명

Electronics Letters

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

952~953

분석자

박*준

분석물

• 금 전극을 이용한 고 초전계수 티탄산납 박막증착.pdf [234,621 byte]

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