무엇이 전자현미경의 분해능 제한을 결정하는가

전문가 제언

지난 수 십년간 전자현미경의 분해능을 향상시키는 데에 큰 발전이 있었다. 전자현미경은 광학적 현미경의 유리렌즈와 같지 않게 전자의 초점을 맞추기 위해서 양의 구면수차를 가지는 둥근 전자현미경 렌즈를 사용한다. 이것 때문에 입사 빔의 방향에서 부터 큰 각도로 입사하는 전자는 작은 각도에서 진행하는 것보다 더 강하게 초점이 맞추어 져서 상을 흐리게 한다. 전자의 파장은 일반적으로 0.02 - 0.037Å 로 대단히 작아서 오랫동안 제한된 구면수차 때문에 이론적인 파장한계 분해능에 근접하는 것은 불가능했다.

저자

Laurence Marks

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2013

권(호)

6(82)

잡지명

Physics

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

1~2

분석자

박*식

분석물

• 무엇이 전자현미경의 분해능 제한을 결정하는가.pdf [269,599 byte]

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