압전박막을 이용한 진동발전 소자기술

전문가 제언

압전 MEMS 센서?액추에이터 이외의 응용으로서 진동을 전기로 변환시키는 진동발전 분야에서 주목되고 있다. 특히 센서노드 전원으로 압전 MEMS 기술을 이용한 진동발전 소자로 응용이 기대되고 있다. 본 연구에 있어서는 단책상의 Ti 기판에 Pt 전극을 형성시킨 후, PZT 박막을 직접 스퍼터링 성막시킨 유니모르프 캔틸레버를 이용하여 진동발전 소자를 구성했다.

저자

Isaku KANNO

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2013

권(호)

48(7)

잡지명

セラミックス

과학기술
표준분류

재료

페이지

542~545

분석자

김*호

분석물

• 압전박막을 이용한 진동발전 소자기술1.pdf [279,810 byte]

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