주사형 프로브현미경에 의한 박막표면 거칠기 측정의 JIS화

전문가 제언

전자재료 기기 분야에서 나노단위의 표면거칠기 평가기술은 자기디스크미디어 박막이나 액정디스플레이용 투명 도전박막의 품질관리분야에서 널리 사용되고 있다. 제조?품질보증 현장에서 표면거칠기 측정이 갖는 중요 과제는 반복되는 측정에 따른 탐침선단부의 형상 변화에 의한 표면거칠기 측정값의 재현성을 확보하는 것이다.

저자

Eiji Kusano

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2013

권(호)

79(3)

잡지명

精密工學會誌

과학기술
표준분류

재료

페이지

205~208

분석자

김*태

분석물

• 주사형 프로브현미경에 의한 박막표면 거칠기 측정의 JIS화.pdf [231,528 byte]

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