탐침형상의 평가방법 ­ 나노구조의 치수 계측 ­

전문가 제언

원자현미경(AFM : Atomic Force Microscope)은 예리한 탐침을 사용하여 시료의 표면형상을 추적하고 그 궤적을 화상화함으로서 나노구조의 3차원화상을 얻는 첨단 분석장치이다. 즉 AFM 화상은 탐침과 시료표면형상의 합성화면이다. 박막표면의 나노구조의 형상을 정확하게 계측하기 위해서는 담침의 굵기를 파악하는 것이 중요하다. 2차원 단면을 얻는 방법의 대부분은 인공적으로 제작된 표준시료를 이용하여 구한다. 이미 형상을 알고 있는 표준시료를 이용하기 때문에 탐침선단 부근으로부터 원둘레부까지 신뢰성이 있는 탐침외형을 얻을 수 있다.

저자

Hiroshi Itoh

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2013

권(호)

79(3)

잡지명

精密工學會誌

과학기술
표준분류

재료

페이지

209~212

분석자

김*태

분석물

• 탐침형상의 평가방법-나노구조의 치수 계측-.pdf [222,223 byte]

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