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첨단기술정보

MEMS 응용을 위한 일정한 PZT 박막 프린팅

전문가 제언: 압전기 엔지니어링 소자에 유용한 페로브스카이트 티탄산 지르콘산 납(PZT, lead zirconate titanate)은 전기적 커플링에 강한 기계적 성질을 가지고 있으며 고 성능을 갖고 있는 전기-화학적 디바이스다. 그러나 박박 PZT 공정은 종전의 미세전자기계시스템(MEMS) 제조 공정과 호환이 용이하지 않고 박막 PZT와의 결합에는 상당한 디자인 제한이 따른다.
최근에 졸-겔 기반의 막 생성에서 MEMS용 박막 PZT 증착에 스핀 코팅이 우수한 방법으로 증명되고 있다. 스핀 코팅은 MEMS 기반의 PZT에 최선의 방법이 아니지만 근래에 MEMS 공정에 용이하게 일체화 결합되고 있다. 졸-겔 물질은 습도, 입자 오염 그리고 기질을 포함한 증착 변수에 매우 민감하다. 그 결과 디바이스 수율은 종종 낮아지게 된다. 따라서 MEMS 응용에 용이하면서 효과적인 고 품질의 PZT 박막을 증착시키기 위해 유연하고 새로운 방안이 필요하다.