ISO TC201 SC9에서 SPM 표준화 활동

전문가 제언

○ 최근 활발한 연구개발이 진행되고 있는 라이프 사이어스, 나노테크널러지?재료, 환경 분야는 서브 ㎛～㎚ 영역의 형태와 분자?결정구조의 정보와 기능과의 상관관계를 상세하게 해석하는 것이 중요하다.

○ 이를 위해서는 비파괴?비접촉 측정이 가능하고 서브 ㎛ 이하의 공간분해능에서 미세한 프로브 탐침을 시료의 표면에 주사하여 상호작용을 측정하고 주사에 맞추어 화상화함으로서 시료의 미세구조를 가시화시키는 주사형 프로브 현미경(scanning probe microscope, SPC)의 탐침 선단부에 대한 공간분해능과 고감도 측정기술의 표준화가 필요하다.

○ 반도체, 전자통신, 첨단소재 분야에서 박막 소재 및 박막 표면개질층 등 극미세 부품과 소재의 기계적 성질을 포함한 물성평가기법에 대한 관심이 증대되고 있다. SPM 복합형 미소경도계시스템의 대표적인 응용 사례로서 국소부위에서의 사용이 편리한 나노인덴테이션법은 박막의 신뢰성 평가와 반도체 공정에 사용되는 웨이퍼 코팅층의 강도와 마모, 잔류응력 등 극미소 시료의 특성을 평가하기 때문에 분석의 정밀성을 높이기 위한 표준화가 중요하다.

○ SPM의 원리를 활용하는 주사형자기력현미경, 광근접장현미경, Kelvin Probe Force Microscope, Scanning Spread Resistance Microscope 등에 의한 시료의 표면물리를 관찰, 반도체의 프로파일 해석, 전위차분포 측정는 표면의 평가 기술은 앞으로 그 중요성이 더욱 더 높아질 것이다. 이를 위해서는 SPM 등에 관한 시험방법의 국제표준화가 중요하며, 표준화가 이루어지면 신뢰성이 높고 재현성을 갖는 데이터를 용이하게 얻을 수 있을 것으로 기대된다.

○ SPM의 계측성능을 높이기 위해서는 다원적 물성측정에 관한 표준화가 필요하다. 특히 SPM에 의해 기능성재료인 반도체, 나노디바이스, 태양전지 등에 이용되는 재료에 대한 소자의 전기적, 자기적인 물성을 정량적으로 측정하는 방법의 표준화가 중요하다.

저자

Daisuke Fujita

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2013

권(호)

79(3)

잡지명

精密工學會誌

과학기술
표준분류

재료

페이지

213~217

분석자

김*태

분석물

• ISO TC201 SC9에서 SPM 표준화 활동.pdf [287,272 byte]

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