MEMS 마이크로미러의 실용화 진전

전문가 제언

MEMS기술발전의 초기단계부터 연구가 진행된 마이크로미러(micromirror)는 특히 디스플레이용 응용연구가 진행되어 1970년대 중반에 실용화가 보고되기 시작했다. 1987년에는 반도체 LSI와 융합한 2차원 마이크로미러 어레이인 DLP(Digital Light Processing)가 개발되어 현재 프로젝터에 널리 이용되고 있다. DLP는 100만개 수준의 마이크로미러가 집적된 구조로서 금속제 힌지 스프링에 의해 가동하는 시스템이다.

저자

Kazuhiro HANE, Takashi SASAKI

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

정밀기계

연도

2013

권(호)

116(1130)

잡지명

日本機械學會誌

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

43~46

분석자

박*선

분석물

• MEMS 마이크로미러의 실용화 진전.pdf [259,696 byte]

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