독자기술로 도전하는 차세대 반도체 HDD 제조

전문가 제언

반도체 제조에 있어서 패턴의 위치정밀도, 중합 정밀도 등 달성해야할 문제점을 극복하는 기술이 Jet and Flash Imprint Lithography(J-FIL)이다. 이 기술을 반도체에 적용하여 차세대 반도체 HDD를 제조하였다.

저자

Wada Eiji

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

화학·화공

연도

2012

권(호)

61(9)

잡지명

高分子

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

699~700

분석자

서*석

분석물

• 독자기술로 도전하는 차세대 반도체 HDD 제조.pdf [274,373 byte]

이미지변환중입니다.