박막 Epitaxial 성장의 기초

전문가 제언

Epitaxi라는 어휘는 그리스어에 유래한다. 「epi」는 영어의 「on」에 대응되고 「taxis」는 배열이라는 영어의 「arrangement」에 의미를 갖는다. 즉 epitaxial 성장이라 기판의 원자배열 위에 그것의 영향을 받아 성장이 진행된다는 것을 의미한다.

epitaxial 성장은 전기?전자?광 디바이스의 제작에는 불가결한 기술이 되었다. 디바이스가 미세화되어 내부에 정확한 미세구조를 고품질결정으로부터 제작하기 위해서는 epitaxial 성장이 불가결하다.

저자

T. Nishinaga

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

전기·전자

연도

2013

권(호)

82(4)

잡지명

應用物理

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

331~334

분석자

조*

분석물

• 박막 Epitaxial 성장의 기초.pdf [236,333 byte]

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