주파수 다중 MEMS 액추에이터 및 스위치

전문가 제언

MEMS 액추에이터는 스위치 또는 마이크로미러와 같은 여러 형태로 응용된다. MEMS 어레이는 스위치 망, 정합회로, 위상어레이 및 재형상 안테나에서 널리 응용된다. 이런 응용에서 스위치 타임은 빠를 필요는 없지만 한 번에 다중디바이스를 제어할 수 있어야 한다. 어레이의 제어라인 매트릭스 설계는 전형적으로 각 액추에이터의 다중 어드레스를 위해 적용된다. 이글에서는 주파수 어드레스 가능한 액추에이터에 대한 기법을 소개하는데 이것은 많은 디바이스를 제어하는데 단 하나의 단일 제어만 요구된다.

저자

Minfeng Wang, et al.

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2013

권(호)

34(1)

잡지명

IEEE Electron Device Letters

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

132~134

분석자

박*준

분석물

• 주파수 다중 MEMS 액추에이터 및 스위치.pdf [242,188 byte]

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