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전자구동 반응을 통한 직접쓰기

전문가 제언
전자구동 반응에 의한 직접쓰기에서 전자-구동 화학의 기구적 이해는 아직도 완전한 답을 하지 못하는 것이 핵심적 문제이다. 과정의 대부분은 증기나 액체 전구체를 분해하기 위한 전자에 기대고 있는데 그러나 다른 기술 하에서 전자의 에너지 또는 전구체가 어떻게 부서지며 즉 반응 단면적이 어떤지 정확히 알려져 있지 않다.
저자
Seung Whan Lee and R. Mohan Sankaran
자료유형
학술정보
원문언어
영어
기업산업분류
전기·전자
연도
2013
권(호)
16(4)
잡지명
Materials Today
과학기술
표준분류
전기·전자
페이지
117~122
분석자
조*
분석물
담당부서 담당자 연락처
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