α-사이알론 세라믹스 롤러

전문가 제언

근래 제조현장에서 분진방지 대책으로 세라믹스 기계부품이 많이 사용되고 있다. 특히, 고온과 고진공 하의 가혹한 환경 프로세스를 가진 전자산업 분야는 분진이 제품의 수율에 직접적인 영향을 미치므로 이에 대한 방지대책에 대한 중요성이 높아지고 있다.

Yoshikawa 등은 이러한 분진에 대한 해결방법으로 종래 금속 등의 부재료를 사용하였던 것을 내구성이 우수한 α-사이알론(Sialon) 세라믹스 재료로 전환을 검토하여 추천하게 되었다.

사이알론의 화학조성식은 Si, Al, O, N으로 표시되는 세라믹 재료를 총칭하는 것이다. 이 사이알론은 고용형태나 결정구조의 차이로 인하여 α형과 β형의 2종류가 존재하고 있다. α형은 Si3N4의 Si와 N의 일부에 각각 Al과 O가 치환하는 동시에 금속원자(희토류 원소 또는 알칼리토류 원소)가 격자 간에 침입한 고용체이다.

Shinagawa Fine Ceramics사는 α형 사이알론(α-Sialon)에 β형 질화규소(β-Si3N4)를 복합화한 α-사이알론 세라믹스 “SAN-2"를 일본에서 처음으로 공업화하여 많은 분야에서 활용이 되고 있다. 이 제품은 β형 질화규소(SSN)의 여러 가지 물성과 비교되었다. 이 결과 파괴강도, 비커스 경도, 내열충격성 등에서 우수하였다.

저자

Masahiro YOSHIKAWA,

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2013

권(호)

48(6)

잡지명

セラミックス

과학기술
표준분류

재료

페이지

466~467

분석자

김*호

분석물

• α-사이알론 세라믹스 롤러.pdf [244,208 byte]

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