박재의 다이프리 마이크로·나노성형에 관한 연구

전문가 제언

○ 최근 금형가공에 의하지 않고(Die Free) 또 반도체 제조에 이용되는 포토리소그래픽(Photolithographic)기술을 사용하지 않고 유리표면에 직접적으로 100nm에서 μm크기의 미세한 요철(구조체)을 형성할 수 있는 기술이 개발되어 다품종소량생산을 저렴하게 가공할 수 있게 되었다. 이의 기술은 거울이나 커버유리 등의 광학제품, 마이크로 리액터, 바이오칩 등에 응용되고 있다.

○ 또 소성가공에 금형을 사용하지 않고 얇은 금속편(박재: 箔材)에 굽힘 성형을 할 수 있는 인크리멘탈(Incremental)법에 의한 레저(Laser), 방전(Spark), 집속이온빔(FIB: Focused Ion Beam Forming)성형법 등의 적용가능성을 검토한 결과 취성재료인 순수유리 박재, 금속유리 박재, 세라믹스 등을 금형을 사용하지 않고 초미세 마이크로 나노 굽힘 가공실험에 성공한 사례보고가 있다. 이와 같이 MEMS디바이스 가공기술은 매일매일 진화하고 있다.

○ 마이크로 나노가공기술에 관한 학술논문은 이치훈외 3명에 의한 초음파성형을 이용한 폴리에틸렌 나노 마이크로구조물의 복제와, 강신일에 의한 포토 폴리머활용 마이크로/나노 UV성형이 대한기계학회 논문집에 게재되어 있으며, 국회도서관 및 한국과학기술정보연구원(KISTI)에 소장되어 있고, 한양대학교 금속재료공학과의 유우경씨의 박사학위 논문 마이크로 나노 혼합분말 피드스톡의 저온 분말성형에 관한연구가 국회도서관에 소장되어 있다.

○ 또 학술자료로 이혜진외 3명에 의한 마이크로/나노 패턴성형을 위한 Hot Embossing System개발이 한국정밀공학회지에 게재되어 있으며, KISTI에 소장되어 있다. 최근의 나노기술 동향으로는 나노유체의 열전달과 임계 열 플럭스의 향상에 대한 고찰, 나노 와이어의 성장 등 다양한 연구가 진행되고 있다.

저자

Masaaki OTSU

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

정밀기계

연도

2012

권(호)

53(623)

잡지명

塑性と加工

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

1049~1053

분석자

정*갑

분석물

• 박재의 다이프리 마이크로 나노성형에 관한 연구.pdf [348,853 byte]

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