스퍼터링법에 의한 강유전체 박막제조와 응용

전문가 제언

○ 결정학적 측면에서 보면 압전성이나 강유전성은 유전체라는 큰 카테고리 안에 속한다. 즉 유전체 재료는 유전특성 뿐 만 아니라 압전성 또는 강유전성을 가지고 있다. 특히 유전체 박막은 절연성, 압전성, 집전성, 강유전성, 전기광학효과 등 다양한 특성을 나타내므로, 여러 가지 전기·전자 디바이스에 응용할 수 있다. 이 분야에 대한 연구가 거듭될수록 유전체에 대한 새로운 특성이 밝혀지고 있다.

○ 다양한 전자세라믹스 중에서 유전재료나 압전재료에 대한 연구가 주목받고 있는 이유는, 본 논문에서 소개한 바와 같이 응용분야가 앞으로 크게 확대될 것으로 예상하기 때문이다. 즉 가정용 전자기기, 사무기기, 자동차 등의 운반기기 뿐 만 아니라 의료용 진단기나 로봇 등, 초정밀기기의 각종 디바이스에 응용될 것이다.

○ 특히 전자기기가 소형·고성능화되면서, 사용되는 재료의 형태는 벌크형, 후막형, 박막형의 순으로 바뀌고 있다. 이러한 변화는 디바이스의 소형화에는 기여할지 모르나, 유전특성 또는 압전특성은 오히려 열악해진다. 박막재료의 유전특성을 향상시키기 위해서 재료의 성분 조성을 바꾸는 방법 외에, 최근에는 재료의 미세구조나 결정구조를 변경하는 배향기술이 연구되고 있다.

○ 즉 결정립을 이루고 있는 도메인을 나노 크기로 합성하는 방법이나 자기장을 이용하는 방법이 있다. 또 화학적 합성법을 이용하여 결정구조를 변경하여 배향방향을 바꾸는, 이른바 조직제어기술을 이용하기도 한다. 최근에는 이와 같은 방법에 의해서 특성이 개선된 유전체 박막을 반도체 또는 집적회로용 커패시터에 응용하기도 한다.

○ 우리나라는 세라믹 커패시터의 대량 생산국이며, 40년 이상의 생산 경험을 가지고 있다. 그 동안 축적된 기술을 활용하면 새로운 강유전체 또는 압전체의 개발도 가능하리라 본다. 앞으로 시장이 크게 확대될 것으로 예상되는 이 분야에 더욱 많은 투자와 노력이 필요하다.

저자

Hieaki Adachi

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2012

권(호)

81(9)

잡지명

應用物理

과학기술
표준분류

재료

페이지

746~752

분석자

허*도

분석물

• 스퍼터링법에 의한 강유전체 박막제조와 응용.pdf [352,727 byte]

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