실리콘과 수정의 통합

전문가 제언

압전효과를 가진 수정을 칩 위에 통합하면 화학센서나 시간측정 회로에서 매우 유익할 것이다. 하지만 이제까지 높은 압전효과를 가진 단일 변체 silicon oxide(SiO2) 막을 만들 수 없었다. Carretero-Genevrier 등은 실리콘(Si) 위에 배향된 압전효과를 나타내는 α-수정 박막의 형성을 시연하였다. 성장 메커니즘과 압전 특성에 대해서 좀 더 연구가 필요하지만 이 방법은 통합된 압전 디바이스를 개발하는데 좋은 수단이 될 수 있을 것이다.

저자

C Jeffrey Brinker and Paul G Clem

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

재료

연도

2013

권(호)

340

잡지명

SCIENCE

과학기술
표준분류

재료

페이지

818~819

분석자

박*철

분석물

• 실리콘과 수정의 통합.pdf [252,113 byte]

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