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기억소자로 사용되는 하프늄 및 지르코늄 산화물의 박막증착제어기술

전문가 제언: ○ 기판에 성장한 금속박막은 전자제품의 기억소자로 사용한다. 각종전자제품가운데 박막제품이 결정성장에서 중요한 기술로 평가 받고 있다. 전자제품에는 다양한 기능이 전자장치에 내장되어야 함으로 부품소자가 박막소자로 인해 부피비중은 크게 줄게 된다. 그래서 전자소자는 오래전부터 박막으로 대치되고 있다.

○ 박막성분을 기판에 원자, 또는 분자수준의 평면두께로 겹겹이 쌓아 올리는 방법에는 ALE(atomic layer epitaxy), ALD(atomic layer deposition), MBE(molecular beam epitaxy), CVD(chemical vapor deposition), MOCVD(metal organic CVD), VPE(vapor phase epitaxy), 그리고 MOVPE(metal organic VPE) 등이 있다.

○ 기판에 금속성분을 증착할 때에는 유기금속화합물을 사용한다. 유기금속화합물은 불안전하기 때문에 쉽게 분해하여 금속은 기판에 증착하고, 유기성분은 쉽게 증발한다. 금속, 또는 화합물박막의 두께를 조절하는 기술이 박막증착의 핵심기술이다. 지금은 증착물질의 내용을 종류별로 성장하는 성장 로가 별도로 마련되어 있다.

○ 한국에서도 대학, 기업, 그리고 대덕 연구단지에서 박막성장에 대한 연구가 이루어지고 있다. 특히 한국화학연구소에서는 오래전부터 반도체박막을 성장하고 있는 것으로 알고 있다. 유기금속화합물은 모두 유독한 기체이기 때문에 취급에 세심한 주의를 할 필요가 있다. 성장장치는 전문 업체에 주문제작하는 것이 바람직하다.

저자: Wang, Yun et al.
자료유형: 특허정보