반도체 디바이스 제조시의 청정화 기술

전문가 제언

반도체나 디스플레이 등의 각종 전자디바이스의 품질과 제품수율의 향상을 위해서는 클린룸 설비는 필수장치이다. JIS Z 8122에 의하면 클린룸은 「청정도 관리(Contamination Control)를 하는 한정된 공간으로서 공기 중의 부유미소입자, 부유미생물이 청정도 수준 이하로 관리된다. 또한 그 공간에 공급되는 재료, 약품, 물 등도 요구되는 청정도가 유지되며 필요에 따라 습도, 온도, 압력 등의 환경조건도 관리되는 공간」으로 정의된다. 청정환경을 필요로 하는 대표적인 산업분야는 반도체, HDD(Hadr Disk Drive), FDD(Flat Panel Display)와 그들의 소재분야 등이며 점점 확대되고 있다.

저자

Takumi SUGIURA

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

화학·화공

연도

2012

권(호)

76(4)

잡지명

化學工學

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

222~225

분석자

조*제

분석물

• 반도체 디바이스 제조시의 청정화 기술.pdf [284,285 byte]

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