스퍼터법에 의한 (K,Na)NbO3 무연 압전박막의 제조

전문가 제언

압전박막은 각속도 센서, 압전식 잉크젯 프린터 헤드 등에 사용되고 있다. 현재 압전박막은 Pb(Zr, Ti)O3(PZT) 재료가 사용되고 있다. 그러나 PZT에는 다량의 납을 함유하고 있어, 환경상 문제가 되고 있어 이를 대체할 수 있는 적합한 무연재료가 필요한 상황이다. 필자는 단결정 실리콘 기판 상에 양산성이 우수한 스퍼터법을 이용하여 치밀하고 높은 (001) 배향성을 가진 KNN 박막 형성기술을 확립하였다. 압전정수 d31이 100pm/V 이상이라는 실용 수준의 무연 압전박막 개발에 성공하였다.

저자

Kenji Shibata

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2012

권(호)

81(9)

잡지명

應用物理

과학기술
표준분류

재료

페이지

765~768

분석자

김*호

분석물

• 스퍼터법에 의한 (K,Na)NbO3 무연 압전박막의 제조.pdf [263,370 byte]

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