마이크로·나노공학의 전망

전문가 제언

1980년대부터 반도체 미세가공기술을 이용하여 100㎛ 미만의 마이크로 기계구조, 센서와 액추에이터를 산업에 응용할 수 있게 되면서 MEMS기술이 주목을 끌기 시작하고, 각국이 전략적으로 MEMS기술의 연구개발을 추진하게 되었다. 일본에서는 1991~2000년에 걸쳐 250억 엔을 투자하여 NEDO 프로젝트로 마이크로머신 기술개발사업을 추진하고 이어서 MEMS(2003~2006년), MEMS-ONE(2004~2006년), BEANS(2008~2012년), Green Sensor Network (2011~2014년)프로젝트를 계속 추진하고 있다.

저자

SATO Kazuo

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

정밀기계

연도

2013

권(호)

116(1130)

잡지명

日本機械學會誌

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

12~15

분석자

박*선

분석물

• 마이크로·나노공학의 전망.pdf [150,828 byte]

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