LED용 사파이어 단결정기판의 초정밀 가공

전문가 제언

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○ 20세기 최후의 최대 발명이라고 칭하고 있는 백색 발광다이오드(LED: Light Emitting Diode)는 세상에 발표되자마자 단번에 응용범위를 확대해 가며 무섭게 발전하고 있다. 단순한 표시장치로부터 시작하여 지금은 액정 디스플레이용 백라이트, 일반 조명, 자동차용 헤드라이트 등의 응용제품이 시장에 투입되기 시작한지 오래이며 이와 같은 LED 붐은 당분간은 식지 않고 계속될 것으로 전망된다.

○ LED는 사파이어 기판 위에 질화물 반도체 박막을 성장시켜 만든다. 최근에는 기판위에 수 미크론 정도의 요철을 만들어 준 패턴 사파이어 기판(PSS: Patterned Sapphire Substrates)을 사용한다. PSS는 LED 업계에서 두 가지 역할을 한다. 웨이퍼 공급업체의 입장에서 보면 원래의 사파이어 웨이퍼보다 매상 총이익이 크기 때문에 좋은 돈벌이가 되며 제조 개발자의 입장에서 보면 더 효율적이고 효과적인 LED 광원이 되기 때문이다.

○ LED산업은 조명이 사용되는 전산업으로 확대되어 나가고 있기 때문에 그 수요는 무궁무진하다고 볼 수 있다. 국내 업체로는 삼성전기, LG이노텍 등이 칩에서부터 패키지, 모듈, 유닛 세트까지 풀 라인업을 통한 개발을 하고 있는 반면 중소업체들은 각 공정에서 일부분만을 담당하여 OEM 형식의 생산을 하고 있다. Strategies Unlimited (SU)의 리포트에 의하면 2015년까지 전세계 시장이 연평균성장률 11.8%로 189억$까지 성장할 것으로 보고 있다.

○ LED시장의 이 같이 높은 성장 잠재력에 따라 각 국가들은 LED시장 활성화에 국가적인 지원을 아끼지 않고 있다. LED의 핵심 기술인 패턴 사파이어 기판(PSS: Patterned Sapphire Substrates) 공법에 대한 기술은 현 단계로선 CMS에 의한 원자 수준의 평탄도 확보와 습식 에칭 방식이 최선으로 보고 있으나 아직까지는 개발 단계에 있음으로 더욱 발전적인 공법 개발에 부단한 노력을 필요로 하고 있다.

저자

Hideo Aida, Natsuko Aota

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

정밀기계

연도

2012

권(호)

78(11)

잡지명

精密工學會誌

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

932~936

분석자

심*일

분석물

• LED용 사파이어 단결정기판의 초정밀 가공.pdf [352,211 byte]

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