도금기술을 응용한 초미세 구조물의 실용화

전문가 제언

○ 정밀 가공분야에서 많은 장비의 발전 및 새로운 공정기술 등이 개발되면서 초정밀 가공기술에 대해 많은 연구가 수행되고 있는데, 그 중에서 X선을 이용하여 나노/마이크로 크기의 미세 구조물 및 정밀 소자 등을 가공하는 차세대 기술을 LIGA(Lithographie Galvanoformung Abformung)이라고 부른다. 이 LIGA 공정기술을 이용하면 마이크로미터 크기 또는 그 이하의 구조물이나 금형제작이 가능하며, 복합형상의 대면적의 마이크로 구조물의 제작도 가능하다.

○ 오늘날 선진 각국에서는 싱크로트론 방사광(Synchrotron Radiation)을 이용한 첨단과학기술의 개발연구가 괄목할만한 성과를 거두고 있으며, 미래에는 새로운 기술혁신, 신산업 구축이 확실시 되어가고 있다. 방사광을 이용한 응용연구로서는 이미 알려진 리소그래피 기법을 이용한 반도체 개발응용을 시작으로 최근에 주목받고 있는 연구분야로서는 LIGA 공정을 이용한 마이크로 머시닝(micro machining) 등이 있다.

○ 이러한 마이크로 머시닝 기술과 관련하여 주목을 받고 있는 응용분야로서는 미래의 광통신분야에 사용 잠재력이 큰 광부품의 응용을 비롯하여 항공우주분야와 같이 중량대비 비용의 효과가 큰 분야, 인체 내의 진단 및 치료를 위한 마이크로캡슐 제조 등의 의학분야, 적진탐지용 미소 정찰기의 개발과 같은 군사분야 등 많은 분야에서 응용연구가 활발하게 진행되고 있다. 이러한 응용연구는 21세기 마이크로 머신 시대에 맞추어 관련 산업의 기술력을 확보하여 국가 경쟁력을 향상시키는데 초점을 두고 있다.

○ 세계적으로 LIGA 공정을 주도하고 있는 곳은 독일의 IMM과 미국 Wisconsin 대학의 UW-MEMS이다. 우리나라는 LIGA 전용 빔라인이 1998년 말에 준공되어 현재 운전 중에 있다. 이것은 국내 연구자들을 위해 개방되는 연구시설로서 완성되면 국내에서도 LIGA 고정에 대한 연구 및 기술개발이 적극적으로 진행될 것으로 기대되며, 마이크로 머신 분야에서도 선진국을 따라잡는데 매우 유리한 환경을 제공할 것으로 사료된다.

저자

Yoshihiro Hirata, Shinji Inazawa, Yukifumi Chiba, Kouji Nitta, Naoki Sugihara

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

일반기계

연도

2012

권(호)

78(12)

잡지명

精密工學會誌

과학기술
표준분류

일반기계

페이지

1025~1029

분석자

이*요

분석물

• 도금기술을 응용한 초미세 구조물의 실용화.pdf [374,215 byte]

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