스퍼터링법에 의한 KNN계 무연가유전체 박막 제조

전문가 제언

필자는 PZT와 비슷한 압전특성이 기대되는 (K,Na)NbO3에 주목하여 연구를 진행하고 있다. 가장 높은 특성을 나타내는 조성은 결정상 경계 (K0.45Na0.55)NbO3 부근이며, 박막의 경우에는 c축으로 배향시키면 높은 압전특성을 얻을 수 있다. 알칼리와 니오브의 복합 산화물인 KNN은 화학적으로 안정하여 가공이 어렵다. 여기서는 LiNbO3와 Nb2O5 예를 참고하고, 건식에칭 및 습식에칭을 이용한 KNN막의 미세가공을 검토하였다.

저자

Fumimasa Horikiri

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2012

권(호)

47(10)

잡지명

セラミックス

과학기술
표준분류

재료

페이지

764~767

분석자

김*환

분석물

• 스퍼터링법에 의한 KNN계 무연강유전체 박막의 제조와 가공기술.pdf [282,837 byte]

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