(Ba,Sr)TiO3 박막 커패시터

전문가 제언

LSI(Large Scale Integration)의 사용 주파수가 높아지면, 디바이스에서 발생하는 노이즈나 전원전압 안정화에 대한 대책이 필요하다. 이때 디커플링 커패시터(decoupling capacitor)를 사용한다. 그러나 이것을 LSI에서 멀리 설치하면 배산 길이가 길어져서 기능이 떨어진다. 커패시터를 LSI 가까이 설치하려면 커패시터를 저배(low profile)형으로 만들어야 한다. 이때 (Ba,Sr)TiO3 박막 재료가 필요하다. 이 재료를 사용하여 가변용량 커패시터도 제조가능하다.

저자

Yutaka Takeshima

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2012

권(호)

47(10)

잡지명

セラミックス

과학기술
표준분류

재료

페이지

773~776

분석자

허*도

분석물

• (Ba,Sr)TiO3 박막 커패시터.pdf [244,760 byte]

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