입자빔을 이용한 RBS/ERDA에 의한 DLC박막의 조성분석

전문가 제언

여러 가지 박막재료의 조성을 분석하는 기법은 다방면에 이른다. Tsuneo Suzuki가 소속한 일본 NAGAOKA과학기술대학의 극한에너지 밀도공학연구센터에서는 정전가속기를 사용하여 He이온빔을 박막재료에 조사하여, 박막조성분석을 실시하고 있다.

러더포드 후방산란분광법(RBS; Rutherford Back-scattering Spectroscopy)과 탄성한도산란분광법(ERDA; Elastic Recoil Detection Analysis)이라는 2가지 기법은 조성이 이미 알려진 표준시료를 준비할 필요가 없다. 때문에 스펙토르를 취득하면, 간단한 모의시험에 따라서 실제조성을 결정하는 것이 가능하기 때문에 신뢰성이 높은 조성분석법이다. 본고에서는 극한에너지 밀도공학연구센터에 있어서 박막의 조성분석, 특히 탄소계의 박막조성 분석법이 관하여 오랜 경험을 바탕으로 기술하였다.

저자

Tsuneo Suzuki

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2012

권(호)

60(9)

잡지명

工業材料

과학기술
표준분류

재료

페이지

25~28

분석자

이*용

분석물

• 입자빔을 이용한 RBS,ERDA에 의한 DLC박막의 조성분석.pdf [277,242 byte]

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