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첨단기술정보

저에너지 양자조사에 의한 자성재료의 나노스케일 패터닝

전문가 제언: 이온빔은 재료의 표면처리, 광전지의 기능성 층 생성, 전자부품 제조 등에 다양하게 이용된다. 이온주입(ion implantation)의 경우에는 재료에 주입된 이온들이 도우펀트(dopant)로 작용한다. 이온조사(ion irradiation) 과정에서 생성되는 무질서(disorder)나 정공(hole)은 박막에 기능성을 부여하거나 전자소자 성능을 최적화시킨다. 그러나 고에너지 이온조사는 박막을 파괴하거나 원치 않는 결함을 발생시키기 쉽다. 최근 Kim 등(Nature Nanotechnology, 7, pp.567~571, 2012)은 저에너지 수소이온(양자)의 조사에 의해 특정 부분에 국부적 화학반응을 일으킴으로써 주변에 영향을 주지 않으면서도 원하는 성질을 얻을 수 있는 신기술을 개발하였다. 이 기술은 고밀도 데이터 저장과 재료의 나노구조와 관련된 다른 응용분야의 발전에 크게 기여할 것으로 기대된다.