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막 재료의 제타전위 평가 기술

전문가 제언
박막 구조체의 제타전위는 재료 입자의 피복성 등의 제조시의 방법 평가뿐만 아니라 완성 제품에서의 막의 오염성이나 세정성 등에 영향을 미친다. 따라서 그 값을 계측?제어하는 것은 품질의 향상이나 안정화에 있어서 큰 의미가 있다. 그러나 이제까지 박막 재료의 제타전위 평가법이 난이도가 높고 측정자의 기술 습득에 장시간이 필요하여 그 평가는 많이 행해지지 않았다.
저자
Miyuki Funato
자료유형
연구단신
원문언어
일어
기업산업분류
화학·화공
연도
2012
권(호)
37(6)
잡지명
과학기술
표준분류
화학·화공
페이지
312~314
분석자
조*제
분석물
담당부서 담당자 연락처
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