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자외선에 의한 건식 고도 광세정

전문가 제언: ○ 습식세정의 제1 특징은 큰 오염처리에는 뛰어나지만 더러움이 작게 되면 세정효율은 저하하고 세정제 자체가 표면에 남아 오히려 오염원이 되는 결점이 있다. UV오존과 플라스마에 의한 세정은 큰 오염을 없애기에 적합하지는 않지만 오염을 분자 및 원자수준에서 고도로 처리할 수 있는 장점이 있다.

○ UV오존세정은 1980년대부터 최근까지 액정 TV 제조공정에 가장 흔하게 이용되고 있다. 자외선조사기술은 플라스틱과 금속에는 접착력 향상에 개질효과도 겸해 갖추고 있으므로 스마트폰과 태블릿 형 PC 등의 제조공정에 널리 채택되고 있다.

○ 본래의 플라스마기술은 양질의 방전플라스마가 얻어져 주로 감압가스의 저온플라스마를 사용하였지만 고객의 요구에 따라 대기압에서 사용하는 플라스마기술이 생겼다. UV오존과 플라스마로 건식세정기술은 개질효과도 겸하여 첨단기술제품 품질향상으로 수율이 증가하고 있다.

○ UV오존 장치는 간단하지만 여러 가지 표면세정에서 건식세정의 전처리로서 적당한 습식세정을 하는 일은 필수조건에 가까운 중요한 편성이 되고 있다. 거기에 더하여 자외선은 유기화합물을 분해하는 파장과 연결시키는 파장이 있다.

○ 이용자에 따라 어떤 기술이 자기 용도에 비용까지 포함한 적합성 선택정보를 충분히 검토해야 한다. UV오존 기구는 세정효과와 개질효과를 겸해 갖추고 있으므로 바르게 숙련시키는 노하우의 확립에는 앞으로 실질적인 연구개발이 기대된다.

저자: KIKUCHI, Kiyoshi
자료유형: 학술정보