플라즈마 용사 시에 공급원료의 혼합방법

전문가 제언

○ 본 발명은 태양전지의 기판 제조에 직접적으로 응용할 수 있는 플라즈마 용사기술에 관한 것이다. 특히 본 발명에 의한 용액전구체는 증착속도를 크게 향상시키고, 액체 공급원료는 가스공급원료보다 더 많은 실리콘양을 공급할 수 있는 장점이 있다. 향후 국내관련 기업체에서도 이러한 장점을 이용하여 가스, 액체 및 고체 공급원료의 다양한 결합에 의한 최적 제조에 대한 기술개발이 활성화되어야 할 것이다.

○ 플라즈마 용사 시에 액체 내에 혼입된 실리콘분말은 실리콘과 기타 성분의 화합물인데, 실리콘으로부터 분리될 때 휘발된다. 기타 성분의 예는 수소와 할로겐화물의 일종이 포함된다. 특히 실리콘화합물은 화학적기상증착법(CVD)에 의해 실리콘을 증착하는 데 전구체로서 사용될 수 있다. 액체전구체의 예로서 trichlorosilane(SiHCl3 혹은 TCS)가 있다. 이러한 물질은 반도체산업, 특히 Siemens 공정에 의한 EGS (electronic grade silicone) 혹은 더욱 개선된 폴리실리콘의 성장에 광범위하게 사용되므로 이에 대한 관심이 요구되고 있다.

○ 폴리실리콘은 태양전지에서 광에너지를 전기에너지로 전환시키는 역할을 하는데, 규소에서 실리콘을 뽑아내는 공정으로 만들어지며, 잉곳, 웨이퍼, 태양전지, 태양전지모듈, 발전소로 이어지는 태양광에너지 가치사슬에서 맨 앞에 위치한 핵심소재이다. 예전에는 대부분 CPU기판에 쓰였지만 최근에는 전체 중 30% 정도가 태양전지 기판용으로 사용되고 있다. 국내에서는 OCI가 폴리실리콘공장과 태양광 발전시설을 증설하고 있다.

○ 미국은 태양광 신흥시장으로 주목받고 있는데, 국내의 경우 아직까지는 규모가 작지만 태양광 업체들의 지속적인 투자가 이어지면 전체 시장규모도 함께 커지게 될 것으로 전망된다. 현재의 태양광 시장 불황은 공급과잉에서 비롯된 것으로, 수요는 지속적으로 증가하고 있기 때문에 미리 신흥시장을 선점하기 위해 기술투자를 이어나가야 할 것이다.

저자

INTEGRATED PHOTOVOLTAICS

자료유형

특허정보

원문언어

영어

기업산업분류

재료

연도

2012

권(호)

WO20120135236

잡지명

PCT특허

과학기술
표준분류

재료

페이지

~17

분석자

유*천

분석물

• 플라즈마 용사 시에 공급원료의 혼합방법.pdf [298,213 byte]

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