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첨단기술정보

나이프커팅법에 의한 도막부착에너지 평가법

전문가 제언: 박막·도막의 기판과의 부착강도는 제품에 필요한 내구성을 확보하는데 있어서 대단히 중요하다. 또한 제품의 고기능화, 고밀도화를 추진하기 위해 다층박막의 이용이 급속히 진행되고 있고, 이러한 제품개발의 효율화를 위해서 계면의 부착강도의 정량적인 평가방법의 확립이 바람직하다. 도막 박막과 기판과의 계면 상에 절단을 행하여 박리를 행하는 나이프커팅법(Knife-Cutting)은 부착에너지와 박리막의 변형에너지의 분리가 가능하고, 막두께가 얇아 강도가 작은 시료의 측정도 가능하다. 박리시험에 대신하는 정량적인 부착에너지 측정법으로서의 이용이 기대된다. 본고에서 기술한 부착에너지측정법은 종래의 박리시험법에서는 측정이 곤란한 미소하고 얇은 시료에 대해서도 응용이 가능할 것으로 기대된다. 그러나 도막과 다층막은 극히 다양하므로, 어떠한 경우에 이 측정법이 유효한가? 등을 조사하는 것은 향후의 과제이다.