도포광조사법에 의한 기능성 산화물박막의 저온성장

전문가 제언

레이저에 의한 금속유기화합물의 광화학반응을 이용한 도포광조사법(Photo- Induced Chemical Solution Process)이 최근 개발되었는데, 본 방법의 특징은 종래의 용액법의 특징에 부가하여, 저온성장이 가능하고 패터닝이 가능하고 대기중에서의 제막이 가능하고 경사조직막의 제조가 가능하다. 또한 나노입자를 이용한 박막제조와 자외램프를 이용한 투명도전막과 형광체막의 저온성장을 가능하게 하고 있다. 본고에서는 금속유기화합물 및 나노입자를 이용한 도포광조사법에 의해 제조된 에피택셜막과 다결정막에 대해 소개하였다.

저자

Tetsuo TSUCHIYA

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2012

권(호)

63(6)

잡지명

表面技術

과학기술
표준분류

재료

페이지

345~348

분석자

유*천

분석물

• 도포광조사법에 의한 기능성 산화물박막의 저온성장.pdf [262,513 byte]

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