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UV 나노임프린트 재료의 개발
- 전문가 제언
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UV 나노임프린트 재료로서 에폭시 등 고리상 에테르계의 개환중합과 수지와 몰드의 밀착성과 박리 용이성에 대하여 기술하고 있다. 또한 나노임프린트 리토그라피에 사용할 경우 잔막 문제점에 대하여 기술하고 있다.
- 저자
- Misawa Hirohito
- 자료유형
- 연구단신
- 원문언어
- 일어
- 기업산업분류
- 화학·화공
- 연도
- 2012
- 권(호)
- 61(9)
- 잡지명
- 高分子
- 과학기술
표준분류 - 화학·화공
- 페이지
- 687~688
- 분석자
- 서*석
- 분석물
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