FIB에 의한 저융점 금속의 단면 가공예

전문가 제언

첨단재료가 눈부시게 발전하고 고기능화로 되어감에 따라 나노스케일로 진보하고 있다. 재료의 구조, 조성 및 결함의 해석에는 주사전자현미경(SEM: Scanning Electron Microscopy) 및 투과전자현미경(TEM: Transmission Electron Microscopy)에 의한 관찰이 불가피하다. 최근에 주목받고 있는 땜납, 인듐, 주석, 비스무트 등 저융점 금속의 SEM 상 및 TEM 상이 올바르게 측정되었는 가 하는 논의가 계속되었다. 그러므로 시료제작 장치인 집속이온빔(FIB: Focused Ion Beam) 장치와 SEM을 동일한 챔버에 장착한 복합이온빔 장치에 시료냉각장치를 추가하여 저융점 금속의 단면가공, SEM 관찰하여 검증하였다.

저자

Toshiaki SUZUKI, Hideki MATSUSHIMA

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2012

권(호)

63(11)

잡지명

表面技術

과학기술
표준분류

재료

페이지

685~688

분석자

강*태

분석물

• FIB에 의한 저융점 금속의 단면 가공예.pdf [249,767 byte]

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