초박막의 경도 평가

전문가 제언

초박막 재료의 특성을 해석하여 신재료 및 신기술의 개발에 큰 도움을 주고 있다. 특히 최근에는 탄소계 신재료, 복합 신재료의 개발이 진전되고 초박막의 기능도 향상되고 있다. 재료의 표면형상을 관찰하는 것과 아울러 초박막과 초미소 영역의 기계적 특성을 이해하는 것은 매우 중요하다. 기계적인 특성의 평가에는 경도 평가가 있고 나노인덴테이션(nano-indentation)은 경도, 탄성률 등 다양한 재료의 특성 평가에 이용한다. 나노인덴테이션은 다이아몬드 선단을 재료에 밀어 넣고(loading), 그 후에 물러가기(unloading) 동작으로 하중-변위곡선을 실시간으로 검출하여 다양한 재료의 특성을 평가하는 방법이다.

저자

R.Kokawa, H.Nakajima and T. Inoue

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2012

권(호)

63(11)

잡지명

表面技術

과학기술
표준분류

재료

페이지

681~684

분석자

강*태

분석물

• 초박막의 경도 평가.pdf [270,328 byte]

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