고점도용 잉크젯 헤드

전문가 제언

반도체나 액정디스플레이 등의 전자디바이스 분야에 제조비와 환경부하 저감이 요구되고 있어 잉크젯(Ink Jet: IJ)기술이 주목을 받고 있다. 그러나 잉크젯에서 도포할 수 있는 재료에는 제한이 있으며, 일반적으로 점도 범위는 수 mPa·s~20mPa·s 정도의 좁은 범위이다. 반도체 후 공정을 중심으로 잉크젯과 디스펜서 적용 영역에서는 점도 50mPa·s 이상, 액량 102~104pL(피코 리터) 범위에서 정밀도가 높은 기구가 필요하다고 예상된다.
잉크젯 헤드 설계에서 엑츄에이터 구조해석과 헤드 유로부의 설계에는 유체해석을 이용한다. 우선 고점도 재료의 토출에 필요한 다이어프램 면 부근의 압력을 계산하고 이어 압력을 발생시키기 위한 피에조 소자와 유로 형상의 적정화를 구한다. 이를 통하여 도포재료가 노즐에서 토출되는 상태를 예측한다.

저자

Ishihara Haruhiko

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

전기·전자

연도

2012

권(호)

67(11)

잡지명

東芝レビュ-

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

64~65

분석자

김*환

분석물

• 고점도용 잉크젯 헤드.pdf [3,103,560 byte]

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