ABF STEM법을 이용한 재료계면 연구

전문가 제언

주사형투과전자현미경법(STEM)은, 입계?입계 등의 미세구조 해석에 극히 유력한 방법이다. 요즈음, 전자광학계 개발의 진전에 동반하여, 원자 분해능 관찰이 일상적으로 가능해 졌으며, STEM법이 각종 연구 분야에 계속적으로 파급되고 있다. STEM법은 미세한 전자프로브를 입사시킨 시료 각점으로부터 투과 산란전자를 시료의 하부에 설치한 검출기에서 검출하는 것에 의하여 상을 형성하기 때문에 검출기의 형상, 위치, 각도에 의하여 상 콘트라스트가 크게 변하는 것으로 알려져 있다.

저자

Naoya Shibata

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2012

권(호)

47(7)

잡지명

セラミックス

과학기술
표준분류

재료

페이지

485~488

분석자

강*호

분석물

• ABF STEM법을 이용한 재료계면 연구.pdf [208,341 byte]

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