다공성 실리카박막의 조사손상관찰&#59; XRR과 SEM이용

전문가 제언

이 분석에서는, 고에너지 입자의 조사를 받고 있는 다공성 박막의 기공도와 기공의 구조변화를 관찰하는 가능성을 설명한다. 즉, XRR측정으로부터 기공의 크기, 박막의 평균 밀도와 기공도를 정량적으로 확인 할 수 있고 또한 SEM관찰로부터는 손상 받은 부위를 구별 할 수 있다. 박막의 전체두께와 기공 부피의 변화를 초래하는 현상을 관찰할 수 있는 지속적인 조사실험이 진행되어야 한다. 여러 현상을 좀 더 명확히 확인하기 위하여 이러한 실험 자료를 사용하여 Trinkhaus모델을 이용한 모사실험을 행하여야 한다.

저자

S. Dourdain, X. Deschanels, G. Toquer, C. Grygiel, I. Monnet, S. Pellet-Rostaing, A. Grandjean

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

재료

연도

2012

권(호)

427

잡지명

Journal of Nuclear Materials

과학기술
표준분류

재료

페이지

411~414

분석자

남*우

분석물

• 다공성 실리카박막의 조사손상관찰- XRR과 SEM이용.pdf [209,783 byte]

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