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현미 레이저 라만분광장치의 개발과 향후 과제

전문가 제언
일본 HORIBA(주)가 제공하는 분석/계측 장치에는 많은 분광 분석 장치가 있다. 그 중에서도 현미 레이저 라만(Raman)분광장치 LabRam HR-800 및 분광 Ellipsometers UVSISEL은 비파괴/비접촉으로 반도체/디스플레이/태양전지에서의 유기/무기재료/박막재료의 표면 분석을 하는 대표적인 분광장치이다.

라만분광법은 분자 혹은 결정 진동으로 얻어지는 라만 산란광을 측정하여 그 물질의 구조나 성질을 평가는 분석법이다. 반도체에서 세라믹, 폴리머, 의약품, 생체/의료용에 이르기까지 그 응용 범위가 넓다. LabRAM HR-800은 이러한 요구에 대응하기 위한 높은 스펙트럼 분해능과 유연한 적용성을 고려하여 개발하였다.
저자
Naka Nobuyuki
자료유형
연구단신
원문언어
일어
기업산업분류
화학·화공
연도
2012
권(호)
60(8)
잡지명
工業材料
과학기술
표준분류
화학·화공
페이지
48~51
분석자
최*길
분석물
담당부서 담당자 연락처
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