TiN 초기산화거동과 결정방향

전문가 제언

이상에서의 분석을 요약하면, 고온에서, 다결정 TiN 표면의 각 결정립의 국부적 산소 활성도와 진공에서의 활성도는 결정의 방위에 영향을 받는다. 조대한 산화물은 (100)면에서 더 잘 성장한다. 산화물의 크기와 밀도에 근거한 산화 활성도의 순서는 ν(1 0 0) > ν(1 1 0) > ν(1 1 1)이다. TiN (111)의 상대적 안정성은 최상층의 Ti-Ti금속결합의 증진에 의한 것과 최상층에 활동도가 높은 격자점이 적기 때문으로 설명된다. 또한 산화물과 기판간의 결정학적 상관관계도 중요한 역할을 하는 것으로 생각되어 이에 관한 연구가 진행 중이다.

저자

R. Bes, S. Gavarini, N. Millard-Pinard, S. Cardinal, A. Perrat-Mabilon, C. Peaucelle and T. Douillard

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

재료

연도

2012

권(호)

427

잡지명

Journal of Nuclear Materials

과학기술
표준분류

재료

페이지

415~417

분석자

남*우

분석물

• TiN 초기산화거동과 결정방향.pdf [217,416 byte]

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