일본 오사카대학 초고압전자현미경센터의 공용실적과 향후전개

전문가 제언

일본 OSAKA대학 초고압전자현미경센터는 세계 최고 가속전압 300만V의 초고압전자현미경이 있는 OSAKA대학의 학내 공동교육 연구시설이다. 300만V 초고압 전자현미경에다 10만V에서 30만V 정도의 범용 전자현미경, 재료계에서 생물계에 이르기까지 각종 시료제작 장치가 정비되어 있어 다양한 관찰 요구에 대응할 수 있는 시설이다. 특히 300만V 초고압 전자현미경은 세계 유일한 장치로 그 우수한 투과능을 활용하여 두꺼운 시료를 관찰할 수 있다. 실리콘 박막의 경우 6㎛ 정도의 두께까지 관찰할 수 있어 민감한 물성 관찰에 매우 유효하다. 이 특징을 이용하여 전자선 단층촬영법(tomography)에 의한 반도체 디바이스 시료의 두꺼운 방향 및 3차원 입체 해석, 혹은 생물시료에서 세포의 형태 평가 등에 위력을 발휘한다.

저자

Yasuda Hidehiro

자료유형

연구단신

원문언어

일어

기업산업분류

화학·화공

연도

2012

권(호)

60(8)

잡지명

工業材料

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

36~39

분석자

최*길

분석물

• 일본 오사카대학 초고압전자현미경센터의 공용실적과 향후전개.pdf [278,785 byte]

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